UHP регуляторы давления газа
UHP (Ultra High Purity) газовые редукторы снижают и стабилизируют давление в газовой системе. В отличие от общепромышленных редукторов, оборудование UHP-класса изготавливается, очищается и упаковывается в соответствии со стандартом SEMI. В разделе представлены линейные UHP-регуляторы с входным давлением 200, 210, 220, 230 и 240 бар и рабочим давлением 2, 4, 6,9, 10,3, 17 и 20 bar. Конструкция редукторов с металлической мембраной снижает риск внешних утечек через регулирующий узел. В зависимости от модели доступны исполнения с 2, 3 и 4 портами, соединениями VCR 1/4 (F) и VCR 1/4 (M), материалами SUS316L и Hastelloy C-22, а также разными значениями Cv для подбора под конкретный режим линии.
Преимущества нашего оборудования
-
Высокочистые материалы. Корпуса изготавливаются из нержавеющей стали марки SUS316L с обязательной электрополировкой (шероховатость поверхности Ra ≤ 0.25 мкм). Для работы с агрессивными соединениями применяются коррозионностойкие сплавы (Hastelloy). Внутренние элементы химически инертны.
-
Герметичность. Каждое изделие проходит гелиевый тест на герметичность ( ≤ 10⁻⁹ мбар·л/с). Это гарантирует безопасность при работе с взрывоопасными и высокотоксичными газами в системах высокой чистоты.
-
Цельнометаллическая диафрагма. Высокочувствительная мембрана из сплава Hastelloy C-22 гарантирует стабильность выходных параметров и долговечность узла.
-
Отсутствие застойных зон. Внутренняя геометрия спроектирована без «мертвых» зон, что позволяет быстро и эффективно продувать систему при смене режима работы и газовой среды
-
Сборка в чистых комнатах. Газовые редукторы собираются и упаковываются в чистых комнатах.
Области применения UHP регуляторов
Оборудование соответствует ТР ТС 010/2011, ISO 9001 и сертифицировано для эксплуатации в следующих сферах:
-
производство полупроводников и микроэлектроники;
-
газовая хроматография и масс-спектрометрия;
-
фармацевтика и биохимические лаборатории;
-
системы лазерной резки высокой точности;
-
подача эталонных и сверхчистых газовых смесей.
Заказывайте UHP регуляторы онлайн на нашем сайте. Есть доставка по России и странам ЕАЭС. Комплект поставки включает сертификаты ТР ТС и технические инструкции.
